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사업분야

CAMECA

    • 전화: 82 31-888-5225 (ARS: 1번)
    • 팩스: 82 31 888 5228
    • 경기도 수원시 영통구 광교로 145 (이의동, 차세대융합기술연구원) A동 5층

    Product catalog

      semicon-catarog
    Semiconductor



    이차이온 질량분석기
    (Secondary Ion Mass Spectrometer)
    이온화된 1차 이온 입자를 시료에 충돌시켜 시료표면에서 방출되는 이차이온의 질량의 차이를 자력으로 분류하여 분석하는 질량분석기

    응용분야
    • 지질학 : 동위원소 분석, 희토류 분석, 방사성 지질학
    • 철강 및 재료과학 : 금속합금의 주요성분 정량, 미량성분 정량화, 침전물의 위치 파악 및 식별
    • 반도체 및 태양전지 : 도펀트 정량, 깊이분포, 불순물 분석
    • 유기물 및 생물학 : 세포와 조직의 원소 이미징, 생물세포의 무기원소 분포, 의약품 및 촉매연구


    nano-sims NanoSIMS
    높은 감도와 높은 질량 분해능을 바탕으로 최대 7개의 이차이온 질량을 동시에 검출할 수 있으며, 50nm의 작은 빔을 이용하여 높은 공간분해능을 활용해 반도체, 디스플레이, 세포 생물학, 미생물학, 지질학과 우주과학 뿐만 아니라 재료 연구 등 다양한 분야에서 활용되고 있습니다.

    akonis AKONIS
    탁월한 자동화 기능을 바탕으로 반도체 제조공정에서 사용되는 박막과 계면에서의 조성 및 불순물 데이터를 빠르고 정확하게 제공함으로써 반도체 제조 공정의 제어 및 모니터링에 활용되고 있습니다.

    7f IMS 7f-Auto
    사용 편의성과 생산성을 높이면서 고 정밀 원소 및 동위 원소 분석을 제공하도록 설계된 제품으로, 유리, 금속, 세라믹, Si 기반, III-V 및 II- III-V, 벌크 재료, 박막 등 다양한 분야에서 활용되고 있습니다.

    IMS 7f-GEO
    지질학연구에 특화된 장비로, 안정 동위원소, 희토류 원소, 미량 원소 등 지질 시료, 재료 및 환경 연구 분야의 고 정밀 측정에 활용되고 있습니다.

    wf-sc-ultra IMS Wf / SC Ultra
    박막 분석에 특성화 된 장비로, 150eV이하의 EXLIE(Extreme, Low Impact Energy) 기능으로 높은 질량분해능을 제공하며, 초박형 및 고에너지 임플란트 공정, 초박막 산화물 및 질화물, high-k metal gate, SiGe, PV & LED 디바이스 등 다양한 응용분야에서 시료 조성, 미량원소 및 분순물에 대한 고감도 데이터를 제공합니다.

    actins ACTINIS
    고 방사성 물질 분석에 활용하기 위해 고안된 장치로, 고 방사능 시료의 고 정밀 질량 분석 및 동위원소 분석에 활용되고 있으며, 시료의 전송 및 분석 과정에서 발생할 수 있는 오염 및 방사능 영향으로부터 작업자를 보호하기 위한 방사능 차폐 장비가 설치된 장비 입니다.

    kleora IMS 1300-HR
    안정 동원원소를 사용하여 지질학적 변화 추적, 광물 연대 측정, 미량 원소의 존재 및 분포 확인 등 다양한 지구과학응용 분야에서 탁월한 분석 성능을 제공하며, 높은 감도와 수평 분해능으로 이용, 핵안전조치를 위한 우라늄입자를 검핵하고 측정하는 용도로 설계된 장비입니다.



    3차원 극소 레이저 전계형 원자 단층 현미경

    (Atom Probe Tomography)
    국소 레이저·전계형 원자 단층 현미경(Laser-assisted Local Electrode Atom Probe)"은 탐침형의 시편에 국소 전계와 국소 레이저 펄스(혹은 펄스 전계)를 인가하여 시편의 최 선단에서 원자의 전계증발(field evaporation)을 일으키고 위치 검출기(position sensitive detector)까지의 비행시간(time of flight; TOF) 및 충돌위치를 식별하여 원자의 종류 및 위치를 동시에 3차원으로 검지하는 입체적 성분 분석 장치입니다.

    응용 분야
    • 반도체 : FiNFET, PMOS cap layer, 3D NAND, PV cell에서 곡선 또는 비 균일 입자 경계와 같은 3D 구조 및 화학 분석
    • 금속 및 재료 : 산화물, 세라믹 및 금속합금의 조성 및 분포, 나노 크기의 침전물 클러스터 및 주요성분 분석, 촉매, 생화학재료 연구, 동위원소 분석, 재료 균질 성 및 이질성 원소 형상 분석.
    • 이차전지 : 리튬이온 배터리의 표면 코팅, 조성요소 (예, Li 및 B) 감지 및 매핑, 충/방전시 물질 구성변화, 1차 및 2차 입자 조성비 검출 등
    • LED : MQW 구조 및 결함, Mg, Si 등 도펀트 정량 분석


    leap LEAP 5000
    시료의 구조 복잡성과 성분 원소 다양성에 관계없이 시료로부터 나노 스케일의 데이터를 수집, 시료의 화학적 구성 및 구조를 1D/2D/3D imaging 하고 다양한 분석 결과를 제공합니다. 최근 자동화 기능을 개발해 사용자 편리성과 생산성을 개선하였습니다. 금속 및 합금 개발, 반도체, display LED, 이차전지 등 다양한 분야에서 탁월하고 유익한 정보를 얻는데 활용되고 있습니다. Download "LEAP 5000 Benefits"

    EIKOS EIKOS / EIKOS-UV
    연구 및 산업 모두를 위한 일상적인 고성능 3D 나노분석을 위해 고안된 Atom Probe입니다. 우수한 질량분해능과 낮은 noise를 통해 신속한 합금 개발 및 나노스케일 재료 연구에 활용되고 있습니다. 최근 UV system을 개발하여 기존 EIKOS의 뛰어난 기능을 더 넓은 분야에 활용이 가능합니다.


    전자탐침미량분석기

    (Electron Probe Micro Analyzer)
    집속 전자빔을 시료에 주사하여 시료에 포함된 다양한 원소에서 방출되는 특성 X선을 검출하여 시료의 성분을 정량 분석하는 장비입니다. X-ray(WDS 및 EDS) 검출, SEM 및 BSE 등을 추가로 설치가 가능합니다.

    응용 분야
    • 지질학 : 광물 감정 및 결정화학, 암석 기재 및 분류, 암석의 생성환경, 지질연대 측정, 운석연구, 토기 산지 분석
    • 재료학 및 금속학 :상 변화 및 결함연구, 원소의 확산 연구, 박막의 화학 특성 규명, 초전도체 연구
    • 의학 및 생물학 : 치과학의 원소확산연구, 생물세포의 무기원소 분포, 의약품 및 촉매연구


    sxfive SXFive-TACTIS
    초보자 및 전문가 모드를 통해 다양한 수준의 사용자가 장비의 성능을 최대한 활용할 수 있도록 설계된 EPMA. 초전압에서 높은 품질의 시료 이미지를 빠르고 정확하게 제공하며, FE-EPMA 기능으로 미량원소를 검출한계를 낮추고 통합된 EDS hyper mapping기능을 통해 데이터의 처리 및 분석을 쉽게 할 수 있습니다. 또한, X live 기능으로 합성 또는 중첩 모드에서 표본 구성에 대한 빠르고 의미 있는 데이터를 얻을 수 잇습니다. 또한 원격제어를 통해 스마트폰, 태블릿 또는 원격 컴퓨터를 통하여 원격으로 장비를 제어 할 수 있습니다.

    skaphia SKAPHIA
    핵시료를 분석용 EPMA장비로 시료 삽입 및 분석을 방사능으로부터 안전하게 분석할 수 있도록 차폐된 EPMA입니다. Micron 이하의 영역에서 뛰어난 정밀도와 정확도로 방사성 시료의 미량 원소에 대한 구성 정보를 제공합니다. 또한 고객 환경에 맞게 제작이 가능하며, 연구자의 안전을 위해 HOT Cell셀에 설치된 장치를 원격으로 조정 및 분석이 가능합니다. 방사능이 조사된 물질 거동 및 방사선 손상과정을 연구하고 혁신적인 합금 및 구조 물질 개발, 핵연료를 최적화 및 핵 폐기물 관리 분야에 활용되고 있습니다.

    ex-300 EX-300 Shallow Probe
    Low energy Electron induced X-ray emission Spectrometry로 반도체 제조에서 임플란트 공정의 선량측정 및 깊이 분석, epitaxial SiGe 막의 조성 및 도펀트(B, P), 산화물/질화물 및 HKMG 적층 구조의 화학적 조성을 정량하고 모니터링하는데 활용되고 있습니다.




    오시는 길